CHEMI-MAC-◼︎◼︎

空気清浄機能に加え、ガス状汚染物質も同時に除去可能な小型ファン付HEPAフィルターユニットです。

この製品はCFC（カーボンフットプリント）算定機種です!

"カーボンフットプリント"って何？

製品概要

高清浄度空間の創出

標準搭載のPTFE フィルターで半導体・液晶製造に最適です。

高い集塵効率

アウトガスフリーに加え、超高性能PTFE フィルターで0.1 μm にて99.9995％以上の集塵効率を発揮します。

対象ガスごとのフィルター種類

型式末尾の■ には以下いずれかのフィルターの種類が入ります。

‍

【 A 】

フィルター種：アニオン

対象ガス：酸性ガス（陽イオン除去）

（HF、H₂SO₄、HCI など）

‍【 C 】

フィルター種：カチオン

対象ガス：塩基性ガス（陰イオン除去）

（NH₃、NH₄OH など）
‍

‍【 K 】

フィルター種：ACF（活性炭繊維）

対象ガス：有機物

（フタル酸エステル、リン酸エステル、シロキサン類）

‍

＊イオン交換繊維フィルターで酸性、アルカリ性のイオン性ガス成分を除去します。発塵、副生成物発生の二次汚染もありません。

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型式

CHEMI-MAC-◼︎◼︎

外形寸法

集塵効率

0.1 μm粒子（シリカ）にて99.9995％以上

集塵要素

メインフィルター：PTFE フィルター(ULPA)

ケミカルフィルター：イオン交換繊維フィルター

処理風量（m³/min）

CHMI-MAC-32-◼︎：約 3

CHMI-MAC-51-◼︎：約 5

CHMI-MAC-101-◼︎：約 10

平均吹出風速（m/s）

CHMI-MAC-32-◼︎：0.49

CHMI-MAC-51-◼︎：0.47

CHMI-MAC-101-◼︎：0.51

騒音（dBA）

消費電力(W)

CHMI-MAC-32-◼︎：約 30/37 (50/60Hz)

CHMI-MAC-51-◼︎：約 44/46 (50/60Hz)

CHMI-MAC-101-◼︎：約 102/119 (50/60Hz)

設備電力(VA)

電源

AC100V 1 φ 50/60Hz

送風機

重量（kg）

CHMI-MAC-32-◼︎：約 15

CHMI-MAC-51-◼︎：約 20

CHMI-MAC-101-◼︎：約 30

構造

‍本体：SUS430

運転表示灯

付属品

本体固定用アングル×２、吹出口取付用パッキン×１、スピードコントローラー*、タイムカウンター

＊騒音値は吹出側1m で無四室にて計測、一般室では条件により異なります。
＊コーキング材は低分子シロキ酸フ物発生の二次汚染もありません。リーを使用。
＊ CHEMI-MAC-32 はスピードコントローラーがつきません。
＊内部配線材はポリウレタン被覆を使用。

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