空調期とダクト接続し、清浄空気を広範囲に拡散させます。
安価、軽量、据付の容易なクリーンルーム専用の機器で、ダクトフランジは天井面、または側面に取付可能です。また形状も角型と丸型にも対応しています。ULPA フィルター、薄型HEPA フィルター仕様もあります。
HEPAフィルター:0.3 μm粒子にて99.99%以上
ULPAフィルター:0.1 μm粒子にて99.999%以上
HEPAまたはULPAフィルター
圧力損失:初期25mmAq