MAC-ⅡA-150EMC-PTFE

半導体製造装置向けの、小型ファン付HEPAフィルターユニットです。EMC 対応(CE マーキング品）で、海外仕様にも対応しています。

この製品はCFC（カーボンフットプリント）算定機種です!

製品概要

高清浄度空間の創出

標準搭載のPTFE フィルターで半導体・液晶製造に最適です。

フリー電源対応

AC100 V~240 V （単相）対応で、電源確保が容易です。

省電力

高効率DC ブラシレスモーターの採用により、省電力化を実現しました。

信号出力対応

運転信号および異常信号の出力が可能です。

型式

MAC-ⅡA-150EMC-PTFE

外形寸法

W(610) × H(180) × D1220

集塵効率

0.1～0.2 μm粒子（シリカ）にて99.9999％以上

集塵要素

メインフィルター：CD4208303

処理風量（m³/min）

約 15

平均吹出風速（m/s）

0.37

騒音（dBA）

消費電力(W)

約 120

設備電力(VA)

電源

AC100V ~240V 1 φ 50/60Hz

＊駆動電源はDC24V

送風機

重量（kg）

約 21.9

構造

運転表示灯

付属品

機器取付用パッキン

＊EMC : Electro-Magnetic Com pati bility（電磁両立性）
＊自己宣言規格（EN60204-1:2018 、 EN61000-6-4:2007+A1: 2011 、 EN61 000-6-2: 2005)
＊吹出風速は吸込風量より算出